设备说明 |
肖特基场发射电子枪；二次电子探头，Inlens高分辨探头，背散射电子探测器；能谱仪（EDS）；背散射电子衍射仪（EBSD）；阴极荧光测试仪（CL） |
设备型号 |
(1) ZeissGeminiSEM560（SEM）、(2)OxfordAZtecLiveUltimMax 100（EDS）、(3)OxfordC-Nano+（EBSD）、(4)GatanMonarc Pro |
性能指标 |
(1)二次电子像分辨率0.8nm @15kV，1.2 nm @1kV，加速电压20V~30kV，探针电流最大电流20 nA，稳定性高优于0.5%/h，图像存储最大分辨率32K*24K； (2)元素分析范围Be4 ~ Cf98，配置TruMap/TruLine、QuantMap/QuantLine功能； (3) CMOS相机，分辨率1244*1024，取向精度高达0.05度； (4)阴极荧光光谱范围：185~1100nm，单色成像，全色成像，光谱成像功能。 |
主要应用 |
观察材料表面的微观形貌；分析材料表面微区成分和材料点、线、面的元素组成和分布；获取材料的微观组织信息，包括取向、织构、相、晶界等，分析材料的晶体学取向，鉴定未知相以及应变分析；检测材料的阴极荧光光谱，进行材料的缺陷分析。 |
样品要求 |
（1）SEM样品尺寸≤200mm，样品厚度≤5mm。 （2）样品必须为清洗后样品，表面干净平整、无污染物附着，无磁性。 （3）样品高度差异不易太大，避免碰触。 |
收费标准 （试运行阶段） |
校内：SEM：300元/小时，EDS：加50元/样，EBSD：加200元/小时；CL：加200元/小时；喷铂80元/次； 校外：SEM：600元/小时，EDS：加100元/样，EBSD：加400元/小时；CL：加400元/小时；喷铂120元/次。 （测试时长包含制样时间） |
预约测试流程 （试运行阶段） |
（1）登录探花av-探花视频-国产探花
大型仪器公共技术平台进行预约（//cfms.avtanhua.org/），导师审批，设备负责人审批后，打印预约单，安排测试。 （2）Excel共享表格进行预约，测试前准备好导师和设备负责人审批的送样单，安排测试。 |
附件下载 |
(1)阴极荧光显微表征系统测试送样单（校内） (2)阴极荧光显微表征系统测试送样单（校外） |
备注 |
试运行时间为2025.01.01至2025.12.31 |
